Винтовой вакуумный насос Ebara EST10N

Винтовой вакуумный насос Ebara EST10N отличается высокой скоростью откачки 60 м3/час при предельном давлении 0.027 мбар, что способствует повышению эффективности процесса за счет минимизации времени простоя.  Это достигается благодаря конструкции ротора винтового типа и высокотемпературному режиму работы, обеспечивающему поддержание повышенной температуры газа внутри насоса, что идеально подходит для применений, генерирующих побочные продукты реакции, таких как химическое осаждение из паровой фазы (CVD).  Стандартные коррозионностойкие материалы способствуют более эффективной и надежной работе.

Преимущества винтовых вакуумных насосов Ebara серии EST

• Высокая производительность откачки при исключительной стабильности газовой нагрузки.
• Интеллектуальный контроль числа оборотов ротора обеспечивает точную и гибкую регулировку производительности по газу.
• Оснащен расширенными возможностями хранения данных предупреждений и аварийных сигналов.
• Позволяет вручную регулировать настройки предупреждений с помощью программируемого ЖК-контроллера.
• Поставляется с маркировкой Semi-S2/CE и сертификатами NRTL.